Laboratory 08

Лаборатория тонкопленочных сегнетоэлектрических структур

Sokolov AA

Руководитель:

Соколов Алексей Александрович,
и.о. зав. лаб., к. ф.-м. н.

Основные направления исследований

  • Физико-технологическая разработка новых элементов микроэлектроники, микроэлектромеханики, элементной базы устройств вычислительной техники.
  • Теоретическое и экспериментальное исследование нестационарных электрофизических процессов в диэлектрических и сегнетоэлектрических пленках и в многослойных тонкопленочных структурах на их основе, в том числе в структурах с управляемым полем воздушным микро- нанозазором.

Научные и прикладные результаты

Публикации

Другие материалы