• The Reflex programming language which is a C-like language has been developed for control algorithms. A set of the translaters have been implemented. • Control system for single crystal growth furnace has been developed and implemented. • Control system for physical simulation of large ingots growing has been created.
Linguistic and Instrumental Means for Control Algorithms Creation
Fig. 1. Схема взаимодействия управляющего алгоритма и объекта управления.
We have conducted critical analysis of the IEC 61131-3 standard and have show: native cross-platform incompatibility of the IEC 61131-3 based tools and lack of unified methodology for algorithms creation[1].
Уточнена специфика управляющих алгоритмов и проведен анализ популярных методик создания управляющих алгоритмов на предмет соответствия специфике предметной области [2].
Цифровой комплекс управления установкой выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского
Рис. 2. Во время отработки технологических программ роста кремния
Разработана архитектура и реализовано программное обеспечение системы управления ростовыми установкой выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского.
Система обеспечивает сбор, архивирование и документирование данных о параметрах процесса; имеет визуальный и голосовой интерфейсы оператора; сенсорное управление в ручном режиме; осуществляет автоматическое управление процессом по заданной технологом программе.
В систему интегрированы прецизионные приводы и специализированные датчики (диаметра кристалла, уровня и касания расплава, привязки координаты затравки, температуры расплава и нагревателя). Система позволяет проводить удаленный мониторинг процесса с компьютера технолога, на котором создается и редактируется технологическая программа, обеспечивается анализ и документирование параметров процесса.
Базовое программное обеспечение реализовано на языке Рефлекс.
Информационно-управляющая система для экспериментальных исследований роста крупногабаритных монокристаллов
Рис. 3. Стенд для физического моделирования роста крупногабаритных монокристаллов кремния.
Разработано и реализовано программное обеспечение для экспериментальных исследований по физическому моделированию процесса выращивания монокристаллов методом Чохральского на моделирующем комплексе Института теплофизики СО РАН. Система предусматривает три режима функционирования: задание схемы эксперимента, автоматическое проведение эксперимента и автоматизированную отработку результатов.
Программное обеспечение выполнено на базе пакета LabVIEW. Предложена реконфигурируемая архитектура системы управления. Показана принципиальная возможность создания ростовых установок на базе LabVIEW.