Лаборатория тонкопленочных сегнетоэлектрических структур
Руководитель:
Соколов Алексей Александрович, и.о. зав. лаб., к. ф.-м. н.
Основные направления исследований
Физико-технологическая разработка новых элементов микроэлектроники, микроэлектромеханики, элементной базы устройств вычислительной техники.
Теоретическое и экспериментальное исследование нестационарных электрофизических процессов в диэлектрических и сегнетоэлектрических пленках и в многослойных тонкопленочных структурах на их основе, в том числе в структурах с управляемым полем воздушным микро- нанозазором.
