№ 1 1997 (ЯНВАРЬ - ФЕВРАЛЬ)

СОДЕРЖАНИЕ НОМЕРА

Автор / Название статьи	номер страницы
Свиташев К. К., Чикичев С. И. Оптическая эллипсометрия на пороге 21 -го века	3
ОБЩИЕ ВОПРОСЫ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ
Швец В. А., Рыхлицкий С. В. Метод эллипсометрии в науке и технике	5
Свиташев К. К. Связанные эллипсы и связанные эллиптические колебания	22
ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО МЕТОДА
Хасанов Т. Определение собственных поляризаций поляризующих оптических систем	34
Семененко А. И., Бобро В. В. О метрологическом обеспечении эллипсометрии (общий подход)	43
Бобро В. В., Мардежов А. С., Семененко А. И. Обратная задача эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок	50
Абаев М. И. Способ быстрого решения обратной задачи эллипсометрии для прозрачного однородного слоя	53
Дмитрук Н. Л., Борковская О. Ю., Фурсенко О. В. Определение оптических параметров двухслойных поглощающих пленок методом многоугловой эллипсометрии с возбуждением поверхностных поляритонов	57
Коструба А. М., Влох О. Г. К анализу оптимальных условий эллипсометрического эксперимента	63
Борщаговский Е. Г. Анализ ошибок для оптимизации эллипсометрических измерений	67
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В. Эллипсометрия высокого пространственного разрешения	73
Пеньковский А. И. Фотоэлектрический цифровой поляриметр для анализа оптической активности, двойного лучепреломления и дихроизма	78
Хасанов Т. Аттестация и средства контроля эллипсометров	81
Аюпов Б. М. Установление анизотропии при калибровке лимбов азимутальных шкал эллипсометров	95
Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Назаров Н. И. Автоматический сканирующий микроэллипсометр	100
ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ В ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Сопинский Н. В. Эллипсометрическое исследование эффекта фотолегирования в тонкопленочной структуре РbI₂—Сu	106
Дмитрук Н. Л., Забашта Л. А., Забашта О. И. Эллипсометрическое исследование влияния островковой металлической пленки на оптические свойства поверхности полупроводника	113
Абаев М. И., Пустотина С. Р. Исследование процесса окисления алюминиевых сплавов методом эллипсометрии	119

Desktop Version