Institute of Automation and Electrometry
СОДЕРЖАНИЕ НОМЕРА
Свиташев К. К., Чикичев С. И. Оптическая эллипсометрия на пороге 21 -го века
ОБЩИЕ ВОПРОСЫ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ
ТЕОРИЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОГО МЕТОДА
Семененко А. И., Бобро В. В. О метрологическом обеспечении эллипсометрии (общий подход)
Бобро В. В., Мардежов А. С., Семененко А. И. Обратная задача эллипсометрии для сверхтонких поверхностных пленок
Абаев М. И. Способ быстрого решения обратной задачи эллипсометрии для прозрачного однородного слоя
Дмитрук Н. Л., Борковская О. Ю., Фурсенко О. В. Определение оптических параметров двухслойных поглощающих пленок методом многоугловой эллипсометрии с возбуждением поверхностных поляритонов
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДЫ И АППАРАТУРА ДЛЯ ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
Пеньковский А. И. Фотоэлектрический цифровой поляриметр для анализа оптической активности, двойного лучепреломления и дихроизма
Аюпов Б. М. Установление анизотропии при калибровке лимбов азимутальных шкал эллипсометров
Спесивцев Е. В., Рыхлицкий С. В., Назаров Н. И. Автоматический сканирующий микроэллипсометр
ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ В ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Дмитрук Н. Л., Забашта Л. А., Забашта О. И. Эллипсометрическое исследование влияния островковой металлической пленки на оптические свойства поверхности полупроводника
Абаев М. И., Пустотина С. Р. Исследование процесса окисления алюминиевых сплавов методом эллипсометрии