2025
Разработка технологии изготовления высокоразрешающих резистов на основе халькогенидных материалов
Проведен комплекс работ по совершенствованию технологии получения тонких слоев составов As2S3 и As2Sе3 в нанометровом и микронном диапазонах толщин.
Экспериментально подтверждено, что полученные слои состава As2Sе3 обеспечивают пространственную разрешающую способность на уровне 100 нм. При голографической записи на таких слоях отражательных решеток с плотностью штрихов 1200 мм-1 величина одного периода решеток составляет 833 нм, а «паразитное» рассеяние находится на уровне 5х10–6. На слоях состава As2S3 получены образцы дифракционных решеток с периодом 420 нм для ортогонального ввода/вывода лазерного излучения в планарные волноводы.
Такие слои (резисты) необходимы для записи дифракционных решёток синхротронного излучения, для создания элементов интегральной оптики, а также для коррекции астигматизма и комы в оптических спектрометрах.
2024
Физические основы технологии лазерной гетеродинной томографии
Разработаны физико-технические основы двухпучковой лазерной гетеродинной томографии светочувствительных материалов в проходящих и отраженных световых пучках. Задачи: записи тестовых объемных решеток; формирования сканирующих световых объемных решеток с перестраиваемым периодом и с измененяемым по толщине доплеровским сдвигом частоты; послойного восстановления и коллинеарной гетеродинной обработки рассеянных (сигнальных) и проходящих (референтных) световых пучков решены путем создания томографических акустооптических систем с двухканальным гетеродинным фотодетектором.
Предложена методика послойного исследования тестовых амплитудно-фазовых объемных решеток. Теоретически и экспериментально подтверждено, что сдвиг фаз между сигналами двухканального гетеродинного фотодетектора является наиболее устойчивым и воспроизводимым параметром при послойном анализе тестовых объемных решеток, имеющих амплитудную, фазовую или амплитудно-фазовую модуляцию со сдвигом и без сдвига фазы между амплитудными и фазовыми компонентами.
Предложены и реализованы методики томографического исследования нелинейных оптических свойств светочувствительных кристаллов фосфида кальция, легированного натрием (ИТМО, г. Санкт-Петербург), и явления продольной усадки фотополимеров с радикальной полимеризацией (НИОХ СО РАН).
Исследование дифракционных и спектральных характеристик фотополимерных материалов с применением новых фотоинициаторов
Совместно с НИОХ СО РАН проведены исследования спектральных и дифракционных свойств голографических фотополимерных материалов (ГФПМ) с использованием новых фотоинициирующих систем на основе комплексов с переносом заряда (СКПЗ) и красителя-соинициатора Метиленовый голубой (МГ). Такие материалы привлекательны из-за их светочувствительности в широком спектральном диапазоне без использования комбинации трех и более красителей-сенсибилизаторов, химически плохо совместимых.
С помощью DPSS лазеров с длинами волн излучений 457, 532 и 639 нм реализована запись монохромных и трехцветных (RGB) голограмм с дифракционной эффективностью каждой из спектральных компонент равной примерно 30%.
Экспериментально подтверждено подавление кислородного ингибирования радикальной полимеризации при использовании бутилтрис(4-анизил)бората тетрабутиламмония в качестве донорной компоненты в СКПЗ, а также в качестве соинициатора в МГ, что позволяет изготавливать ГФПМ без защитных плёнок поверх регистрирующего слоя.
