6. Комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов
Ответственный: д. т. н. Корольков Виктор Павлович, тел.: (383) 3333-091; факс: (383) 3333863; e-mail: victork@iae.nsk.su
Общая характеристика:
Экспериментальный комплекс микроструктурирования поверхности оптических материалов обеспечивает возможность напыления покрытий, формирование микрорисунка фотошаблонов, микроструктуры рельефно-фазовых оптических элементов на поверхности оптических подложек.
Комплекс позволяет изготавливать фотошаблоны общего назначения, бинарные и многоуровневые дифракционные оптические элементы, конформальные корректоры аберраций лазерных кристаллов, травить кварцевые подложки на глубину до 5 мкм, напылять плёнки хрома и меди на подложки диаметром до 350 мм, изготавливать экспериментальные образцы прецизионных подложек, линз и призм, осуществлять резку оптических кристаллов.
Состав:
Установка магнетронного напыления металлов АТС-220ОН;
Установка реактивного ионного травления Plasmalab 80Plus;
Круговая лазерная записывающая система CLWS-300IAE;
Чистая комната участка фотолитографии с комплексом приборов микроскопического и профилометрического контроля;
Оптический участок с комплексом технологического и метрологического оборудования по изготовлению уникальных оптических элементов.
Комплекс прецизионного прототипирования проводит полный цикл работ по изготовлению опытных образцов и опытных партий изделий по чертежам заказчика. Поддержка собственной базы экспериментального производства сделала ЦКП ИАиЭ СО РАН незаменимым партнёром по разработке приборов и технологического оборудования для ряда российских научно-производственных организаций, ограниченных в возможностях использования импортного оборудования. Сосредоточение современного технологического оборудования в ЦКП при академическом институте в сочетании с высочайшей квалификацией операторов создаёт центры компетенции, которые становятся базой для делового сотрудничества с российскими научно-производственными предприятиями и помогает им перейти на новые технологии и выпуск новой продукции.
Состав комплекса:
Обрабатывающий центр с ЧПУ ВХ300А (Pinnacle Machine)
исследования полупроводниковых материалов и структур, в том числе систем пониженной размерности, без нарушения их функционирования;
бесконтактных неинвазивных исследований конформационных превращений биологических объектов под влиянием окружающей среды и при взаимодействии друг с другом;
изучения внутренней структуры и идентификации сложных биологических молекул (аминокислот, полипептидов, белков, ДНК и РНК);
неинвазивной диагностики, в т. ч. в медицине;
обнаружения взрывчатых, наркотических и других опасных веществ.
Терагерцовые спектрометры с накачкой и регистрацией ТГц-излучения на основной (λ=1550 нм) и второй гармонике (λ=775 нм) импульсных (~100 фс) эрбиевых волоконных лазеров. Генерация терагерцового излучения осуществляется за счёт эффекта оптического выпрямления или эффекта Дембера, а регистрация напряжённости терагерцового поля - поляризационно-оптическим методом.
Спектрометры обеспечивают измерения отражения и пропускания
2. Комплекс для создания и исследования оптических и нелинейно-оптических свойств нанокомпозитных сред
Ответственный: к. ф.-м. н. Микерин Сергей Львович, тел. (383) 3333174; факс: (383) 330-88-78; e-mail: mikerinsl@iae.sbras.ru
Общая характеристика:
Комплекс обеспечивает возможность создания нанокомпозитных сред при лазерном испарении мишени в буферном газе, инфильтрации наноразмерных объектов в матрицы или пористые вещества, фотомодификации сред при лазерном воздействии, исследование оптических спектров сред, спектров комбинационного рассеяния, а также нелинейно-оптических свойств нанокомпозитных сред методами Z-сканирования, пробного поля, четырехфотонного рассеяния в широком спектральном диапазоне.
Центр коллективного пользования "Высокоразрешающая спектроскопия газов и конденсированных сред" при ИАиЭ СО РАН функционирует с 2002 г. За это время в его работе участвовали десятки научных групп из многих институтов Сибири, центральных областей России и зарубежных стран. Результаты, полученные с использованием оборудования ЦКП, нашли отражение более чем в 500 публикациях и доложены на десятках научных форумов.
Благодаря поддержке приборной комиссии СО РАН ЦКП за десятилетие пополнился новым уникальным оборудованием, что позволило на мировом уровне вести научные и прикладные исследования по приоритетным направлениям оптики и нанофотоники, включая фундаментальные основы лазерных и оптических технологий.
Большая часть работ, выполняемых в ЦКП, связана с изучением свойств новых (в том числе наноструктурированных) материалов, фотонных кристаллов, сенсоров и систем диагностики (в т. ч. на основе волоконной оптики). Исследования в этих областях открывают новые возможности для создания суперпризм, волноводов, оптических фильтров, микрорезонаторов, метаматериалов и т. д. Появляются новые перспективы в управлении оптическим излучением и его свойствами, в создании принципиально новых схем волоконных лазеров.
Все работы в ЦКП «Спектроскопия и оптика» курируются специалистами мирового уровня. Регулярно проводятся совместные семинары с участием сотрудников институтов СО РАН.
В 2012–2013 гг. ИАиЭ СО РАН как один из учредителей ЦКП выделил, отремонтировал и запустил в эксплуатацию помещения, специально предназначенные для компактного размещения оборудования ЦКП. Общая площадь помещений – 200 кв. м. Они расположены в пристройке к Институту, показанной на фотографии.
На двух этажах части здания, размещено недавно приобретённое для ЦКП оборудование. На первом этаже собраны технологические напылительные установки, стенд с фемтосекундным лазером. Там же на площади 35 кв. м. размещены микроскопы, профилометры и технологическое оборудование сектора микро- и наноструктурирования НГУ.
Оборудование сектора микроструктурирования и наноструктурирования НГУ
Первый этаж оснащён приточной вентиляцией с подогревом воздуха, очистной циркуляцией, вытяжной вентиляцией, локальной системой кондиционирования, централизованной системой охлаждения технологических установок.
Напылительные установки
На втором этаже ЦКП оборудованы помещения для аналитического оборудования нескольких физических лабораторий Института и НГУ. Во вновь оборудованных помещениях расположены:
Рамановский Фурье–спектрометр
Технические характеристики спектрометра:
длина волны возбуждения 1064 нм;
диапазон измеряемых частот 50–3600 см-1;
возможность измерения спектров КР в 90° и 180° геометриях;
наличие двух портов для установки двух лазеров возбуждения;
возможность регулировки положения исследуемого образца;
высокая стабильность при сканировании;
надёжность в эксплуатации.
Спектрофлюориметр Cary Eclipse
Прибор позволяет измерять спектры флюоресценции и возбуждения образцов различного типа (жидкости, твёрдые тела, порошки), обладает высоким спектральным разрешением до 1,5 нм (воспроизводимость 0,2 нм), широким спектральным диапазоном 200–900 нм, временным разрешением 1 мкс. Прибор имеет гибкие возможности настроек и расширения возможностей (установку дополнительного оборудования: криостат, термостабилизация и т. д.).
Ответственный:
